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2022-11-01

光譜共焦關于晶圓薄膜厚度測量

如下圖所示:要求測量黃色晶圓薄膜的厚度

 

通過了解客戶的需求知道測量薄膜精度要求μm級別,根據客戶要求及產品觀察技術人員選用,D15A32搭配H4UO三分之一量程控制器,D15A32具有超小的光斑尺寸,帶來更高的線性精度和更高的分辨率,適合測量對分辨率高的粗糙度。

 

 

通過掃描測量可以看出其薄膜厚度13.914μm

(重復精度)

深圳立儀科技自2014年成立,至今8年時間,專業生產研發光譜共焦位移傳感器,經過8年不斷其產品重復精度可達10nm級別,最薄可測8μm,測量角度可達±60°。


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